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產(chǎn)品分類
Product Category
UltraShape - 晶圓關(guān)鍵尺寸測量系統(tǒng)
UltraINSP - 晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)
MESA系列 磁性測量系統(tǒng)
WLA-5000 - 磁傳感器晶圓水平儀
WLA-3000 晶圓水平儀
LAS系列組裝和檢查紅外系統(tǒng) 定心儀(偏心儀)
UltraINSP 晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)
UltraFilm薄膜測量系統(tǒng)
FR-Ultra NIR N3 晶圓厚度測量系統(tǒng)
QuickOCT-4D--膜厚輪廓儀
QuickPRO-RPS--旋轉(zhuǎn)剖面儀
QuickPRO-3D--表面輪廓儀
QuickOCT-4D —膜厚輪廓儀
iFocus晶圓檢測系統(tǒng)
EVG720自動(dòng)化SmartNIL紫外納米壓印光刻系統(tǒng)
FR-Mic:全自動(dòng)帶顯微鏡多點(diǎn)測量膜厚儀
FR-InLine-在線薄膜厚度測量儀
FR-Scanner AIO-Mic-RΘ150-自動(dòng)化高速薄膜厚度測量儀