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二維／三維表面粗度解析及臺(tái)階測定 可實(shí)現(xiàn)高精度、高辨識(shí)能力及*的安全性 用于平板顯示器、硅片、硬盤等的微細(xì)形狀臺(tái)階／粗度測定另外也可利用微小測定力來對應(yīng)軟質(zhì)樣品表面測定 載物臺(tái)旋轉(zhuǎn)功能，便于定位下針位置